Haltevorrichtung
EP3477691
Art B1
9. März 2022
Anmelder: Ulvac, Inc., Ulvac Cryogenics Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3477691
- Aktenzeichen
- EP17815100
- Anmeldetag
- 26. Mai 2017
- Veröffentlichung
- 9. März 2022
- Erteilung
- 9. März 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/687H01J37/32H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Ulvac, Inc.
Ulvac Cryogenics Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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