Vorrichtung für Bake nach der Belichtung

EP3479172 Art B1 14. Juli 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3479172
Aktenzeichen: EP17820718
Anmeldetag: 2. Mai 2017
Veröffentlichung: 14. Juli 2021
Erteilung: 14. Juli 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/38G03F7/16G03F7/20G03F1/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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