Mikromechanischer Resonator und Verfahren zum Trimmen eines Mikromechanischen Resonators

EP3479475 Art A1 8. Mai 2019

Anmelder: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3479475
Aktenzeichen: EP17746527
Anmeldetag: 29. Juni 2017
Veröffentlichung: 8. Mai 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H03H9/02H03H9/24H03H3/007

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Land: 🇫🇮 Finnland

🇫🇮 VTT Technical Research Centre of Finland

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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