Verfahren zur Herstellung einer Probenfläche, Verfahren zur Analyse einer Probenfläche, Sonde für Spannungsfeldassistierte Oxidation und Rastersondenmikroskop damit

EP3480578 Art B1 24. September 2025

Anmelder: Sumco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3480578
Aktenzeichen: EP17819553
Anmeldetag: 6. März 2017
Veröffentlichung: 24. September 2025
Erteilung: 24. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01N1/28G01N21/956H01L23/544// G01Q80/00G01Q70/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumco Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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