Vorrichtung zur Moiré-Vermessung eines Optischen Prüfkörpers
EP3482258
Art B9
1. November 2023
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3482258
- Aktenzeichen
- EP17732044
- Anmeldetag
- 9. Juni 2017
- Veröffentlichung
- 1. November 2023
- Erteilung
- 1. November 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B13/08G01M11/02G02B27/60
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
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