Pellikelfolie, Pellikelrahmen, Pellikel, Verfahren zur Herstellung Davon, Originalplatte für Belichtung, Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP3483655 Art A1 15. Mai 2019

Anmelder: Mitsui Chemicals, Inc., National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3483655
Aktenzeichen: EP17824197
Anmeldetag: 3. Juli 2017
Veröffentlichung: 15. Mai 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62C01B32/162

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Mitsui Chemicals, Inc.
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsui Chemicals

Mitsui Chemicals ist ein japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, der Basis- und Spezialchemikalien, Kunststoffe sowie Materialien für Elektronik und Mobilität herstellt. Das Unternehmen ging 1997 aus der Fusion mehrerer Mitsui-Chemieunternehmen hervor.

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🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

Vertreten von