Abstandhalterschicht mit Integriertem Laminierungsstreifen

EP3484603 Art B1 29. März 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3484603
Aktenzeichen
EP17831621
Anmeldetag
17. Juli 2017
Veröffentlichung
29. März 2023
Erteilung
29. März 2023
Rechtsraum
EP
IPC
B01D65/00B01D63/10B01D63/14
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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