Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterstruktur für eine Galliumnitridkanalvorrichtung

EP3486939 Art B1 1. April 2020

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3486939
Aktenzeichen: EP17202492
Anmeldetag: 20. November 2017
Veröffentlichung: 1. April 2020
Erteilung: 1. April 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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