Gasmesssystem

EP3488225 Art A1 29. Mai 2019

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3488225
Aktenzeichen
EP17835081
Anmeldetag
25. Juli 2017
Veröffentlichung
29. Mai 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/01G01N1/24G01J3/42G01N21/39G01N33/00G01J3/02G01J3/10G01J3/433// G01N21/3504G01J1/42
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MKS Instruments, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Kanzlei
Carpmaels & Ransford LLP

Carpmaels & Ransford gehört zu den ältesten IP-Kanzleien überhaupt und geht auf eine 1776 gegründete Patentagentur zurück. Von London, München und Dublin aus führt sie als eine der wenigen Häuser Parallelverfahren vor EPA, UPC und britischen Gerichten aus einem Team.

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