Aberrationskorrekturvorrichtung für ein Elektronenmikroskop und Elektronenmikroskop mit Solch einer Vorrichtung

EP3488459 Art B1 10. März 2021

Anmelder: Hitachi High-Tech Corporation, Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3488459
Aktenzeichen: EP17754819
Anmeldetag: 21. Juli 2017
Veröffentlichung: 10. März 2021
Erteilung: 10. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/153

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hitachi High-Tech Corporation
Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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