Einstellungsverfahren, Inspektionsverfahren, Defektbeurteilungsvorrichtung und Strukturherstellungsverfahren

EP3492912 Art A1 5. Juni 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3492912
Aktenzeichen: EP16910584
Anmeldetag: 29. Juli 2016
Veröffentlichung: 5. Juni 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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