Substratverbindungsverfahren

EP3493242 Art A1 5. Juni 2019

Anmelder: Mitsubishi Heavy Industries Machine Tool Co., Ltd., National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, National Institute Of Advanced Industrial Science 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3493242
Aktenzeichen: EP17833791
Anmeldetag: 15. Mai 2017
Veröffentlichung: 5. Juni 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02B23K20/00B23K20/24H01L21/302H01L21/3065H01L21/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Mitsubishi Heavy Industries Machine Tool Co., Ltd.
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
National Institute Of Advanced Industrial Science
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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