Optisches Detektionsverfahren und System zur Erkennung eines Räumlichen Merkmals auf einer Oberfläche eines Substrats

EP3494387 Art A1 12. Juni 2019

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3494387
Aktenzeichen
EP17754824
Anmeldetag
1. August 2017
Veröffentlichung
12. Juni 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/94
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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