Extraktionsverfahren von Metallischen Unreinheiten aus einem Plättchen aus Kristallinem Silizium

EP3498892 Art A1 19. Juni 2019

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3498892
Aktenzeichen: EP18209997
Anmeldetag: 4. Dezember 2018
Veröffentlichung: 19. Juni 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C30B29/06C30B33/04H01L21/322

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von