Verfahren zur Steuerung einer Fertigungsvorrichtung und Zugehörige Vorrichtungen
EP3499311
Art A1
19. Juni 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3499311
- Aktenzeichen
- EP17207267
- Anmeldetag
- 14. Dezember 2017
- Veröffentlichung
- 19. Juni 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01N21/956H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte