Verfahren zur Herstellung einer 3D-Halbleiterspeichervorrichtung und mit Solch einem Verfahren Hergestellte Vorrichtung

EP3499580 Art A1 19. Juni 2019

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3499580
Aktenzeichen
EP17208150
Anmeldetag
18. Dezember 2017
Veröffentlichung
19. Juni 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L29/66H01L29/788H01L29/792H01L27/11551H01L27/1157H01L27/11578
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC vzw
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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