Nanoskalige Röntgentomosynthese zur Schnellen Analyse von Matrizen für Integrierte Schaltung (ic)

EP3500845 Art A1 26. Juni 2019

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology, Science Research Laboratory, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3500845
Aktenzeichen: EP17758977
Anmeldetag: 15. August 2017
Veröffentlichung: 26. Juni 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/04H01J35/06H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Massachusetts Institute of Technology
Science Research Laboratory, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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