Verfahren zur Herstellung einer Fluidsensorvorrichtung und Fluidsensorvorrichtung

EP3502682 Art A1 26. Juni 2019

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3502682
Aktenzeichen: EP17210420
Anmeldetag: 22. Dezember 2017
Veröffentlichung: 26. Juni 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G01N27/414// H01L21/762

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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