Automatisiertes Probeninspektionssystem und Verfahren zur Steuerung davon

EP3502709 Art B1 19. April 2023

Anmelder: Hitachi High-Tech Corporation, Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3502709
Aktenzeichen: EP17841323
Anmeldetag: 14. Juli 2017
Veröffentlichung: 19. April 2023
Erteilung: 19. April 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01N35/02G01N35/04G01N35/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hitachi High-Tech Corporation
Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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