Inspektionswerkzeug und Verfahren zur Bestimmung einer Verzerrung eines Inspektionswerkzeugs
EP3503157
Art A1
26. Juni 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3503157
- Aktenzeichen
- EP17210305
- Anmeldetag
- 22. Dezember 2017
- Veröffentlichung
- 26. Juni 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
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