Verfahren zur Formung einer Vertikalkanalvorrichtung

EP3503201 Art B1 27. April 2022

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3503201
Aktenzeichen: EP17210286
Anmeldetag: 22. Dezember 2017
Veröffentlichung: 27. April 2022
Erteilung: 27. April 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/66H01L29/78H01L29/786H01L29/423

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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