Retikelbehälter mit Seitlicher Aufnahme eines Retikels

EP3504591 Art B1 11. Mai 2022

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3504591
Aktenzeichen
EP17761738
Anmeldetag
24. August 2017
Veröffentlichung
11. Mai 2022
Erteilung
11. Mai 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/66G03F7/20H01L21/673
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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