Chemisch-Mechanisches Polierwerkzeug mit Roboterzugriff auf Kassetten

EP3504731 Art A1 3. Juli 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3504731
Aktenzeichen: EP17844465
Anmeldetag: 25. August 2017
Veröffentlichung: 3. Juli 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304H01L21/677H01L21/67B24B37/005B24B27/00B24B41/02B24B49/12B25J11/00H01L21/02B23Q7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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