Vorrichtung und Verfahren zum Entfernen von Kontaminierenden Teilchen aus einer Komponente einer Metrologievorrichtung
EP3506011
Art A1
3. Juli 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3506011
- Aktenzeichen
- EP17210857
- Anmeldetag
- 28. Dezember 2017
- Veröffentlichung
- 3. Juli 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Willekens, Jeroen Pieter Frank
Eindhoven, Niederlande
49
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11
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2
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