Verfahren zur Messung des durch einen Elektronenstrahl Verursachten Schadens eines Substrats

EP3507607 Art B1 2. August 2023

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3507607
Aktenzeichen: EP17762237
Anmeldetag: 30. August 2017
Veröffentlichung: 2. August 2023
Erteilung: 2. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01Q30/02G01Q60/32G01N23/225G01N23/2251G01N29/04G01N29/06G01N29/12G01N33/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

3.163 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von