Verfahren und System zur Durchführung einer Fehlerdetektion in oder zur Charakterisierung einer Schicht eines Halbleiterelements oder Halbfertigen Halbleiterelements

EP3507824 Art A1 10. Juli 2019

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3507824
Aktenzeichen: EP17762239
Anmeldetag: 31. August 2017
Veröffentlichung: 10. Juli 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66G01Q60/32G01N29/04G01N29/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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