Nitridverbindungshalbleiter und Verfahren zu dessen Herstellung

EP3509088 Art B1 29. Januar 2025

Anmelder: Japan Science and Technology Agency 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3509088
Aktenzeichen
EP17845803
Anmeldetag
1. Juni 2017
Veröffentlichung
29. Januar 2025
Erteilung
29. Januar 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/203C23C14/06C23C14/34H01L21/338H01L29/778H01L29/786H01L29/812H01L33/32H01S5/042H01S5/183H01S5/343H01S5/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Japan Science and Technology Agency
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.

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