Schmiermittelversorgungssysteme für Turbomolekulare Pumpe

EP3510288 Art B1 1. November 2023

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3510288
Aktenzeichen
EP17767884
Anmeldetag
6. September 2017
Veröffentlichung
1. November 2023
Erteilung
1. November 2023
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D29/059F04D29/063F16C33/66F16C19/06F16C35/077
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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