Vakuumpumpe mit Infrarot Temperaturmesssystem

EP3510369 Art B1 21. Mai 2025

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3510369
Aktenzeichen
EP17767885
Anmeldetag
6. September 2017
Veröffentlichung
21. Mai 2025
Erteilung
21. Mai 2025
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D27/00G01J5/00G01J5/061G01J5/02G01J5/12G01J5/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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