Verfahren für den Transport und die Lagerung einer Halbleiterplatte in einem Hermetisch Verschlossenen Behältnis

EP3510634 Art B1 22. März 2023

Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique, Université Grenoble Alpes 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3510634
Aktenzeichen: EP17780464
Anmeldetag: 5. September 2017
Veröffentlichung: 22. März 2023
Erteilung: 22. März 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/673

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Centre National de la Recherche Scientifique
Université Grenoble Alpes
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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🇫🇷 Université Grenoble Alpes

Französische Universität mit Sitz in Grenoble, entstanden aus Zusammenschluss mehrerer Hochschulen, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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