Positionsmesseinrichtung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3511680

Aktenzeichen

EP19150886

Anmeldetag

9. Januar 2019

Veröffentlichung

19. April 2023

Erteilung

19. April 2023

Rechtsraum

EP

IPC

G01D5/245G01D5/347

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Positionsmesseinrichtung zur absoluten Positionsbestimmung, bestehend aus einem Maßstab sowie einer Abtasteinheit, die relativ zum Maßstab entlang mindestens einer Messrichtung beweglich angeordnet ist. Der Maßstab weist zur Erzeugung eines abtastbaren Signalmusters eine Messteilung auf, die entlang der Messrichtung ein mit einer Maßstabs-Longitudinalperiode angeordnetes Raster von Streifenelementen umfasst. Die Streifenelemente besitzen zur Absolutpositionscodierung entlang einer Transversalrichtung, die senkrecht zur Messrichtung orientiert ist, eine periodische Struktur mit einer Maßstabs-Transversalperiode. Die Abtasteinheit umfasst zur Abtastung des Signalmusters eine zweidimensionale Detektoranordnung mit einer Mehrzahl von Detektorelementen, die aus mehreren Detektorspalten mit jeweils mehreren Detektorelementen besteht. Hierbei sind die Detektorspalten entlang der Messrichtung und die Detektorelemente entlang der Transversalrichtung periodisch angeordnet, so dass aus der Abtastung des Signalmusters mindestens drei periodische Teil-Inkrementalsignale bezüglich Relativbewegungen entlang der Messrichtung sowie pro Detektorspalte mindestens ein Absolutpositionssignal erzeugbar ist (Fig. 2).

Anmelder

Firma

Dr. Johannes Heidenhain GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete