Maskenschutzmodul, Pellikel damit und Lithografievorrichtung damit

EP3511775 Art A1 17. Juli 2019

Anmelder: IUCF-HYU (Industry-University Cooperation Foundation Hanyang University) 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3511775
Aktenzeichen: EP16915800
Anmeldetag: 20. September 2016
Veröffentlichung: 17. Juli 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F1/00H01L21/027G03F1/62G03F1/64

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IUCF-HYU (Industry-University Cooperation Foundation Hanyang University)
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Iucf-hyu (Industry-University Cooperation Foundation Hanyang University)

Die IUCF-HYU verwaltet Forschungsergebnisse und Patente der Hanyang University in Südkorea. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Medizintechnik, ergänzt um anorganische Chemie und Software. Anmeldungen reichen von 2002 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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