Pufferschicht zur Verhinderung von Ätzungen durch Photoresistentwickler

EP3513249 Art B1 5. April 2023

Anmelder: Google LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3513249
Aktenzeichen
EP16770167
Anmeldetag
13. September 2016
Veröffentlichung
5. April 2023
Erteilung
5. April 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/09H01L39/24G03F7/11
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Google LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Google

US-amerikanisches Unternehmen, das Internetsuche, Onlinewerbung, Softwaredienste sowie Hard- und Software für Mobilgeräte, Cloud und künstliche Intelligenz entwickelt und betreibt.

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Kanzlei
Venner Shipley LLP

Venner Shipley entstand 1947 aus einer Patentagentur der 1930er-Jahre; durch Fusionen reichen ihre Wurzeln bis in die 1880er zurück. Als europäische Full-Service-IP-Kanzlei ist sie neben Großbritannien auch in Madrid und München vertreten.

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