Entgasungskammer für Arsen und Zugehörige Verfahren

EP3513426 Art A1 24. Juli 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3513426
Aktenzeichen: EP17851194
Anmeldetag: 23. Januar 2017
Veröffentlichung: 24. Juli 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67C23C16/24C23C16/56C23C16/44C30B25/00C30B25/16C30B33/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von