Verbindung, Harz, Zusammensetzung, Resiststrukturformungsverfahren und Schaltungsstrukturformungsverfahren

EP3517522 Art A1 31. Juli 2019

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3517522
Aktenzeichen: EP17853047
Anmeldetag: 20. September 2017
Veröffentlichung: 31. Juli 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C07C39/15C07C39/17G03F7/11G03F7/20G03F7/40H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Organische Chemie

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