Verfahren zum Ätzen und Kammerreinigung und ein Gas dafür
EP3517650
Art B1
29. Dezember 2021
Anmelder: SOLVAY SA, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3517650
- Aktenzeichen
- EP19156300
- Anmeldetag
- 4. Mai 2016
- Veröffentlichung
- 29. Dezember 2021
- Erteilung
- 29. Dezember 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44C23F4/00B08B7/00H01J37/32// H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SOLVAY SA
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
Solvay
Belgischer Chemiekonzern mit Sitz in Brüssel, tätig in den Bereichen Spezialchemikalien, Materialien und Kunststoffe für Industrie und Konsumgüter. Das Unternehmen wurde 1863 gegründet.
1.832 Patente in unserer Datenbank
🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
10.117 Patente in unserer Datenbank
Weitere Vertreter
-
Mross, Stefan P.M
NoneBruxelles