Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren
EP3518041
Art A1
31. Juli 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3518041
- Aktenzeichen
- EP18154116
- Anmeldetag
- 30. Januar 2018
- Veröffentlichung
- 31. Juli 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F1/22G03F1/24G03F1/60G03F1/84G02F1/37G01N21/956G21K1/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Willekens, Jeroen Pieter Frank
Eindhoven, Niederlande
49
Patente gesamt
11
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte