Siliziumcarbidelement für Plasmaverarbeitungsvorrichtung
EP3521264
Art B1
24. Juli 2024
Anmelder: Hokuriku Seikei Industrial Co., Ltd., Tohoku University 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3521264
- Aktenzeichen
- EP17855734
- Anmeldetag
- 13. September 2017
- Veröffentlichung
- 24. Juli 2024
- Erteilung
- 24. Juli 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C04B35/565C04B35/575H01L21/3065C04B35/626C04B35/645H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Hokuriku Seikei Industrial Co., Ltd.
Tohoku University - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tohoku University
Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.
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