Messsystem, Substratverarbeitungssystem und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP3521932 Art A1 7. August 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3521932
Aktenzeichen: EP17855900
Anmeldetag: 20. September 2017
Veröffentlichung: 7. August 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00G01B21/00G03F7/20H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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