Substratplatzierungsstufe und Substratplatzierungsstufenherstellungssystem
EP3522208
Art A1
7. August 2019
Anmelder: NHK Spring Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3522208
- Aktenzeichen
- EP17855295
- Anmeldetag
- 13. Juni 2017
- Veröffentlichung
- 7. August 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/683C23C14/50C23C16/458C23C16/46H01L21/3065H01L21/31H05H1/46H01L21/67H01L21/687H01J37/32H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NHK Spring Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
NHK Spring
Japanischer Automobilzulieferer mit Sitz in Yokohama, spezialisiert auf Federungssysteme, Sitzkomponenten und Festplattenaufhängungen.
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