Multilayer-Spiegel zur Reflexion von Euv-Strahlung und Verfahren zu dessen Herstellung

EP3523684 Art B1 27. Oktober 2021

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3523684
Aktenzeichen: EP17777854
Anmeldetag: 25. September 2017
Veröffentlichung: 27. Oktober 2021
Erteilung: 27. Oktober 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/08G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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