Optische Positionsmesseinrichtung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3527951

Aktenzeichen

EP19154406

Anmeldetag

30. Januar 2019

Veröffentlichung

14. April 2021

Erteilung

14. April 2021

Rechtsraum

EP

IPC

G01D5/347G01D5/36G01D5/38

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung zur Bestimmung der Relativposition von zwei Objekten, die entlang mindestens zweier Messrichtungen relativ zueinander beweglich sind. Die Vorrichtung umfasst zwei Abtasteinheiten, die mit einem der beiden Objekte verbunden sind und jeweils mindestens eine Lichtquelle, ein oder mehrere Gitter sowie eine Detektoranordnung aufweisen. Ferner ist ein Maßstab mit dem anderen Objekt verbunden, der zwei sich entlang einer ersten Messrichtung erstreckenden Spuren mit Inkrementalteilungen aufweist, die jeweils aus periodisch entlang einer Inkrementalteilungs-Richtung angeordneten Teilungsbereichen mit unterschiedlichen optischen Eigenschaften bestehen. Die beiden Inkrementalteilungs-Richtungen nehmen einen Winkel zwischen 0° und 90° zueinander ein. In jede der beiden Inkrementalteilungen ist mindestens eine Referenzmarkierung integriert, aus deren Abtastung ein Referenzsignal an einer definierten Referenzposition entlang jeder Messrichtung erzeugbar ist; die Referenzmarkierung enthält sowohl aperiodische als auch periodische Anteile (Fig. 3).

Anmelder

Firma

Dr. Johannes Heidenhain GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete