Metrologische Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Interessierenden Charakteristik einer Struktur auf einem Substrat
EP3528048
Art A1
21. August 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3528048
- Aktenzeichen
- EP18156870
- Anmeldetag
- 15. Februar 2018
- Veröffentlichung
- 21. August 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01N21/47G01J3/02G01J3/36G01N21/95G01N21/956G03F9/00G01J3/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
Willekens, Jeroen Pieter Frank
Eindhoven, Niederlande
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