Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Elektrischer Hochgeschwindigkeitsaktivität in Integrierten Schaltungen unter Verwendung von Geladenen Teilchenstrahlen
EP3528275
Art A3
18. Dezember 2019
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3528275
- Aktenzeichen
- EP19153246
- Anmeldetag
- 23. Januar 2019
- Veröffentlichung
- 18. Dezember 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/04G01R31/28H03L7/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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