Verfahren zur Bildung einer Ätzmaske und einer Rippenstruktur

EP3528279 Art A3 18. Dezember 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3528279
Aktenzeichen: EP19155551
Anmeldetag: 5. Februar 2019
Veröffentlichung: 18. Dezember 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/308// H01L29/78

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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