Metrologievorrichtung und Verfahren zum Bestimmen einer Eigenschaft einer oder mehrerer Strukturen auf einem Substrat
EP3531191
Art A1
28. August 2019
Anmelder: Stichting VU, ASML Netherlands B.V., Universiteit van Amsterdam, Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3531191
- Aktenzeichen
- EP18158745
- Anmeldetag
- 27. Februar 2018
- Veröffentlichung
- 28. August 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B27/42G03F7/20G03H1/04
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Stichting VU
ASML Netherlands B.V.
Universiteit van Amsterdam
Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Willekens, Jeroen Pieter Frank
Eindhoven, Niederlande
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