Verfahren zur Herstellung einer Heterostruktur mit einer Leitfähigen Struktur und einer Halbleiterstruktur und mit einem Schritt zur Funkenerosionsbearbeitung

EP3533080 Art B1 29. Juni 2022

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3533080
Aktenzeichen
EP17784981
Anmeldetag
24. Oktober 2017
Veröffentlichung
29. Juni 2022
Erteilung
29. Juni 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306H01L31/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Land
🇫🇷 Frankreich
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