Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Strukturierten Kohlenstoffschicht
EP3533900
Art A1
4. September 2019
Anmelder: Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten, ASML Netherlands B.V., Universiteit van Amsterdam, Stichting VU 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3533900
- Aktenzeichen
- EP18159654
- Anmeldetag
- 2. März 2018
- Veröffentlichung
- 4. September 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/04C23C16/26C23C16/48C23C16/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten
ASML Netherlands B.V.
Universiteit van Amsterdam
Stichting VU - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Willekens, Jeroen Pieter Frank
Eindhoven, Niederlande
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