Strukturformungsvorrichtung, Ausrichtungsmarkierungsdetektion und Strukturformungsverfahren
EP3534213
Art B1
30. November 2022
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3534213
- Aktenzeichen
- EP19158824
- Anmeldetag
- 22. Februar 2019
- Veröffentlichung
- 30. November 2022
- Erteilung
- 30. November 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Weitere Vertreter
-
Canon Europe Limited
Canon Europe Limited · Uxbridge