Mehrfach Rotationsbeschichtete Ultradicke Hybridhartmaske für Mram-Vorrichtungen unter 60NM

EP3534422 Art B1 9. September 2020

Anmelder: Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd 🇹🇼

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3534422
Aktenzeichen
EP19157883
Anmeldetag
18. Februar 2019
Veröffentlichung
9. September 2020
Erteilung
9. September 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L43/12H01L21/033
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd
Land
🇹🇼 Taiwan
🇹🇼 Taiwan Semiconductor Manufacturing

Taiwan Semiconductor Manufacturing (TSMC) ist der weltweit größte reine Halbleiter-Auftragsfertiger mit Sitz in Hsinchu, Taiwan. Der weit überwiegende Teil des Patentportfolios betrifft Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Datenspeicherung und Nachrichtentechnik. Anmeldungen laufen durchgehend von 2000 bis 2022.

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